ካቶዲክ አርክሲንግ እንደ ቲታኒየም ናይትራይድ፣ዚርኮኒየም ናይትራይድ ወይም ብር ያሉ ቁሶችን ለማትነን የአርክ መልቀቅን የሚጠቀም የPVD ዘዴ ነው።የተተነተነው ቁሳቁስ በቫኩም ክፍል ውስጥ ያሉትን ክፍሎች ይለብሳል.
የቫኩም ሽፋን ዓይነቶች - የአቶሚክ ንብርብር ማስቀመጫ
የአቶሚክ ንብርብር ማስቀመጫ (ALD) ለሲሊኮን ሽፋን እና ውስብስብ ልኬቶች ላላቸው የሕክምና መሳሪያዎች ተስማሚ ነው.በክፍሉ ውስጥ የሚገኙትን ኬሚካሎች በመቀያየር የኬሚስትሪ እና የሽፋኑ ውፍረት በአቶሚክ ትክክለኛነት መቆጣጠር ይቻላል.ይህ ማለት በጣም ውስብስብ ልኬቶች ላላቸው ክፍሎች እንኳን በጣም የተሟላ የሽፋን ዓይነቶችን ያቀርባል.
የልጥፍ ጊዜ: ሰኔ-01-2022